一种 EFPI 光纤压力传感器的结构分析及零点稳定性

摘要：

介绍了一种基于法布里-珀罗干涉原理的 EFPI 光纤压力传感器。详细分析了这种光纤压力传感器的原理、结构和解调方法；讨论分析了材料、结构以及制作工艺对零点稳定性的影响；探讨了传感器内部热应力的分布以及消除方法。该结构传感器在经历-40℃和400℃的严酷温度考验后，零点漂移小于3 nm。

关键词：EFPI、光纤压力传感器、F-P腔、稳定性、零点漂移

分类号：TP212.12;TB935(自动化技术及设备)

资助基金：中航工业技术创新基金项目2009F30472

在线出版日期：2014-05-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-10