冷阴极电离真空计校准方法研究

摘要：

主要介绍了冷阴极电离真空计结构、工作原理及冷阴极电离真空计的校准方法和校准装置,并对校准数据进行了处理.由于冷阴极电离真空计为非线性真空计,通过比较,校准结果采用了校准曲线的方式,可提高校准的准确度,减小校准不确定度,保证真空测量的可靠性.

关键词：冷阴极电离真空计、校准方法、校准装置、不确定度、校准曲线

所属期刊栏目：33

分类号：TB77(真空技术)

在线出版日期：2013-08-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：51-53