基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法研究

摘要：

介绍了一种基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量方法,通过将位移测量转化为频率变化量的测量,实现了亚纳米级测量分辨力.建立了基于法布里-珀罗干涉仪的微位移测量实验装置,完成了320 nm范围内的位移测量,并将测量结果与精密电容传感器的测量结果进行了比较.

关键词：微位移测量、法布里-珀罗干涉仪、亚纳米分辨力、频率追踪

所属期刊栏目：33

分类号：TB921;TH744.3(计量学)

资助基金：国家"十一五"技术基础计量科研项目资助J052010C001

在线出版日期：2013-04-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：23-25