10.3969/j.issn.1674-5795.2012.06.011
基于超声测长技术和激光干涉技术的0~2500 Pa压力基准装置设计
介绍了一种新型的补偿式微压基准,该基准装置的压力测量范围为0~2500 Pa并采用去离子水为工作介质,装置采用超声技术实现两端容器微小液位差的精确测量,同时利用激光干涉技术实现补偿容器移动距离的精确测量,基准装置主要由U型容器系统、伺服驱动系统、超声定位系统、激光测长系统、恒温槽及温度控制系统以及数据采集处理系统组成.
压力计量、压力测量、压力基准、液体压力计、微压计
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TB931(计量学)
2013-02-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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