10.3969/j.issn.1674-5795.2012.06.001
激光干涉法微位移测量技术综述
激光干涉法位移测量技术具有可溯源、分辨力高、测量速度快等独特优势,是目前和近期纳米级以上分辨力位移测量的主流技术.本文对目前主要的激光干涉位移测量技术进行了分类介绍,重点讨论了高分辨力干涉微位移测量技术,并对各种干涉仪的特点进行了分析,最后展望了激光干涉位移测量技术的近期发展趋势.
微位移测量、高分辨力、可溯源、激光干涉仪
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TB921;TH744.3(计量学)
国家"十一五"技术基础计量科研项目资助J052010C001
2013-02-22(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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1-5,13