透镜-反射镜式测量镜对干涉微位移测量的影响

摘要：

采用基于透镜-反射镜式逆反射光路的干涉仪进行微位移测量时,被测位移会引起测量光束的波面变化.本文对这种波面变化和其对位移测量结果的影响进行了分析,推导出了波面变化引起的位移测量误差与透镜的焦距/有效孔径之比和位移的近似关系.对合理使用基于透镜-反射镜的逆反射方法,发挥其在干涉微位移测量中的优势,避免其不足,具有指导作用.

关键词：微位移测量、干涉仪、波面变化、逆反射

所属期刊栏目：32

分类号：TB921;TH744.3(计量学)

资助基金：航空科学基金资助项目2009ZD44012

在线出版日期：2013-01-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-7,17