光纤F-P腔压力传感器的研究进展

摘要：

光纤F-P腔压力传感器因其独有的优点广泛应用于军事、民用领域.国内外诸多高校、科研院所都在对其进行研究.本文介绍了光纤F-P腔压力传感器的研究进展,对全光纤结构F-P压力传感器、激光加工微型光纤压力传感器、二氧化硅膜片压力传感器的结构和制作过程进行了总结,并对利用MEMS制作压力传感器的工艺进行了详述,对比分析了不同加工工艺下传感器的性能及其优缺点.

关键词：光纤压力传感器、Fabry-perot腔、MEMS工艺

分类号：TP212(自动化技术及设备)

在线出版日期：2012-08-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：5-10