10.3969/j.issn.1674-5795.2011.06.008
组合坐标法精确测量微纳米台阶样板高度
微/纳米级台阶高度的精确测量是纳米计量技术领域中重要的研究工作.文中提出了一种以精确定位为前提的多区域坐标组合台阶高度测量法,应用纳米三维测量机实现了标称高度1 mm的微/纳米级台阶样板高度的精确测量.结合实验数据,对影响测量结果的环节进行了分析,确定了影响测量结果的主要因素,并阐述了相应的解决办法.该技术内容对研究台阶样板的精确测量工作具有一定的技术参考价值和借鉴作用.
纳米计量、台阶样板、测量、测量不确定度
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TB921(计量学)
"十一五"技术基础计量科研项目资助J052006A101
2012-03-16(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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