φ300mm大口径平面等厚干涉仪波面数字化技术改造

摘要：

介绍了把φ300 mm口径平面等厚干涉仪改造为移相式数字平面干涉仪的基本情况.改造后的仪器采用液面基准的系统误差校准方法,在φ300 mm口径时的最大允许误差为76 nm(PV值),测量重复性为4 nm,满足相关使用要求.

关键词：波面数字化、移相干涉、液面基准、技术改造

所属期刊栏目：31

分类号：TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：12-14