纳米力学测试系统位移传感器校准装置

摘要：

介绍了用激光干涉方法对纳米力学测试系统位移传感器进行校准的方法,并建立了校准装置；采用平衡式光学系统设计,干涉系统的抗干扰能力得到了显著提高,通过零位移测量实验对装置的稳定性进行了验证；用校准装置对TriboIndenter纳米力学测试系统的位移传感器进行了校准实验,测量不确定度分析结果表明该系统测量压头位移的准确度可以达到纳米量级.

关键词：干涉仪、微位移测量、纳米压入、校准

所属期刊栏目：31

分类号：TH744.3;TP212.12(仪器、仪表)

资助基金：“十一五”计量科研计划项目资助J052008A001

在线出版日期：2012-03-05（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：3-5,26