阶跃型边界平面干涉测量技术

摘要：

为完成复杂平面样板的测量,提出了一种循环单纯形边缘特征提取及种子填充的数字图像处理技术,解决了复杂平面样板相位复原的问题;应用波长合成技术和小数重合法在相位偏移干涉系统中实现了阶跃型边界平面样板的干涉级次整数部分及小数的测量.在实验中对两种阶跃型平面样板测量的重复性达到了10nm,将其测量结果和三维纳米测量机的测量结果进行了比较,两种仪器测量数据最大偏差8 nm.分析了实验数据的可靠性以及两种测量仪器的优缺点,为复杂平面样板的测量提供了一种新的思路.

关键词：平面干涉技术、测量、小数重合法

所属期刊栏目：31

分类号：TB92(计量学)

资助基金：航空科学基金资助项目2006ZD44001

在线出版日期：2011-08-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：28-31