移相干涉技术用于运动姿态精密测量

摘要：

针对测量系统运动中姿态测量的需求,提出了一种利用移相干涉技术测量角度的方法来实现运动姿态的准确测量.建立了由组合式移相干涉仪为主的三轴转角实验装置,该装置测量角度的分辨力优于0.006".采用实验装置对微位移工作台运动过程中的姿态变化进行了测量,得到了工作台移动中绕三轴转角变化的测量结果,并利用激光小角度干涉仪进行了相关测量点的对比实验,数据最大偏差0.03".实验结果验证了利用移相干涉测角法可以实现运动中姿态的精确测量.

关键词：移相干涉技术、姿态、测量、角度

所属期刊栏目：31

分类号：TB922(计量学)

资助基金："十五"计量科研项目J052002A001

在线出版日期：2011-05-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：29-31,35