气敏元件的技术改造-薄膜气敏元件的开发

摘要：

简要叙述了气敏元件技术改造的情况,介绍了研制薄膜气敏元件的工艺流程和芯片结构以及我们已研制出的薄膜元件(SnO2, ZnO, Fe2O3, TiO2, ZnSnO3)的气敏特性和温耗特性.

关键词：薄膜元件、气敏特性、热功耗特性

所属期刊栏目：30

分类号：TN304.055(半导体技术)

在线出版日期：2010-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：150-152