MEMS技术在集成加热功能的双模块湿度传感器中应用研究

摘要：

在需要温湿度变化剧烈的环境中,湿度准确测量的最佳方案是采用单片集成的具有除湿功能的湿度传感器,本文采用MEMS (Micro-electro-mechanical system)技术,研制出集成加热元件的双模块湿度传感器,可以实现湿度测量中交替加热除湿和交替测试功能,具有测试响应时间短、除湿功耗低、响应快速的特点.

关键词：MEMS、集成加热功能、双模块、湿度传感器

所属期刊栏目：30

分类号：TP274.5(自动化技术及设备)

资助基金：国家863计划资助项目2006AA04Z319

在线出版日期：2010-11-17（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：26-28