MEMS加速度传感器计量检测技术的研究进展

摘要：

MEMS加速度传感器在计量检测中有着广泛的应用.本文综述了MEMS加速度传感器的发展概况,总结了其分类方法、工作原理及特点,并提出发展趋势.

关键词：MEMS加速度传感器、计量检测、研究进展

分类号：TH824.4

在线出版日期：2010-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8