基于全息激光技术的纳米级分辨力位移传感器设计

摘要：

介绍了一种新型的基于全患激光技术的纳米位移传感器.全息激光技术最早广泛应用在CD,DVD等系统中,用以读取光盘信息,并对光盘进行寻迹、聚焦等.文中以采用全息激光技术的全患激光头为核心器件,结合少量光学元件,设计出一种纳米分辨力级位移传感器,并通过实验验证了设计结果.

关键词：全息激光技术、位移传感器、纳米测量

所属期刊栏目：30

分类号：TP212.12(自动化技术及设备)

在线出版日期：2010-08-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共3页

页码：16-18