纳米校准与测试——基于纳米测量机的试验性研究

摘要：

主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研航空基金项目"在NMM上实现小型非球面的坐标扫描轮廓测量方法".

关键词：纳米测量机、沟槽深度标准样板、台阶高度标准样板、非球面坐标测量

所属期刊栏目：28

分类号：TG81(公差与技术测量及机械量仪)

资助基金：航空基础科学基金2006ZD44001

在线出版日期：2008-06-24（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：1-5,15