10.3969/j.issn.1674-5795.2006.z1.027
粉末溅射平面薄膜型SnO2/CeO2酒敏元件
介绍了用粉末溅射做出的两种平面薄膜型酒敏元件的工艺、芯片结构和基本参数测试的结果.
粉末溅射、薄膜、酒敏元件
26
TP2(自动化技术及设备)
2006-09-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
71-74
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10.3969/j.issn.1674-5795.2006.z1.027
粉末溅射、薄膜、酒敏元件
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TP2(自动化技术及设备)
2006-09-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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