10.3969/j.issn.1674-5795.2006.z1.025
ZnO薄膜气敏元件
通过在Al2O3衬底上粉末溅射ZnO做出了气敏特性和稳定性较好的ZnO薄膜气敏元件,实现ZnO薄膜的实用化,表明了ZnO是除SnO2外又一种新的气敏基材料.文中还对ZnO薄膜有关气敏特性和元件的气敏电流IG随酒气浓度C变化的规律进行了介绍.
ZnO、薄膜、实用化
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TP2(自动化技术及设备)
2006-09-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共3页
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10.3969/j.issn.1674-5795.2006.z1.025
ZnO、薄膜、实用化
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TP2(自动化技术及设备)
2006-09-26(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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