纳米压痕硬度计测方法的研究进展

摘要：

针对纳米尺度下的材料硬度测量,利用纳米硬度计得到压痕的载荷-压深曲线,并用原子力显微镜得到压痕的三维形貌图.通过载荷-压深曲线和压痕形貌图,以及相应的计算方法,可以得到纳米压痕硬度.纳米压痕硬度计测方法不同,得到的材料硬度值也不同.分析现有的几种纳米压痕硬度计测方法,找出它们的优缺点,并对未来发展方向做了展望.

关键词：纳米压痕、硬度、计算方法

所属期刊栏目：26

分类号：TB938.2(计量学)

资助基金：哈尔滨工业大学校科研和教改项目HIT.2003.23

在线出版日期：2007-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：6-9,16