谐振式微机械惯性传感器

摘要：

对几种典型的谐振式加速度微传感器和微陀螺的结构、工作原理等方面进行了概述,分析了各自的应用特点.从中反映出谐振式微惯性传感器具有优良的特性,必有广阔的应用和发展前景.

关键词：谐振式、微机械惯性传感器、加速度微传感器、微陀螺

所属期刊栏目：25

分类号：TP212(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50275009;航空科研项目02I51018

在线出版日期：2005-06-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：1-4,45