10.3969/j.issn.1674-5795.2002.05.006
满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪
最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02+0.2L)μm.文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验证数据.
量块、检定、接触式、激光量块干涉仪
22
TH711.1;TH744.3(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
20-24
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10.3969/j.issn.1674-5795.2002.05.006
量块、检定、接触式、激光量块干涉仪
22
TH711.1;TH744.3(仪器、仪表)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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