满足一等量块检定要求的接触式激光量块干涉仪

摘要：

最新研制的接触式激光量块干涉仪主要用于测量一、二等量块的中心长度,其长度测量不确定度达到(0.02+0.2L)μm.文中介绍了其工作原理、测量不确定度分析,给出了量块测量的验证数据.

关键词：量块、检定、接触式、激光量块干涉仪

所属期刊栏目：22

分类号：TH711.1;TH744.3(仪器、仪表)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：20-24