球形表面粗糙度测量中两种干涉图像处理方法

摘要：

讨论了用带有数字图像处理和计算系统的麦克尔逊干涉显微镜测量像人工关节这样的球形表面粗糙度的方法.用数字图像处理方法处理等倾干涉和等厚干涉这两种干涉图像,并萃取出反映被测球面微观不平度信息的干涉带的边界线.本文推导了用最小二乘拟合原理计算标准最小二乘圆和圆弧的算法以及用获取的被测表面的微观不平度偏差计算表面粗糙度参数的方法.

关键词：表面形貌测量、干涉测量术、数字图像处理

所属期刊栏目：22

分类号：TG84(公差与技术测量及机械量仪)

在线出版日期：2004-01-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：13-17