10.3969/j.issn.1674-5795.2000.01.012
高精度光栅干涉测量技术及仪器
在超精密测量和控制技术中,对测量精度提出了越来越高的要求,如尺寸精度1 nm和角度0.001″.由于光栅测量具有精度高、抗干扰能力强、寿命长和价格便宜等优点,最近几年光栅干涉测量技术被广泛研究和使用.本文简单介绍几种在超精密测量和制造过程中常用的微纳米光栅干涉测量技术.
测量、光栅、激光、干涉仪
20
P2(测绘学)
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共4页
36-39