蓝宝石复杂表面光学元件精密-超精密磨削机理及关键技术研究进展

摘要：

蓝宝石复杂表面光学元件因其优异机械性能和光学性能被广泛应用于高端科技和航空航天等领域,而蓝宝石的高硬脆性和复杂表面的高精度要求对光学制造能力提出了巨大挑战.分析了蓝宝石复杂表面光学元件的磨削机理及关键制造技术研究现状,首先从蓝宝石材料性能、表面和亚表面损伤、工具和工具磨损、能场辅助和残余应力等方面阐述了蓝宝石磨削机理,然后对高陡度蓝宝石保形整流罩、非球面光学元件超精密磨削加工技术进行研究,最后对蓝宝石自由曲面超精密磨削加工关键技术进行总结与展望.

关键词：高硬脆材料、蓝宝石、磨削机理、超精密磨削、复杂表面、在位检测

所属期刊栏目：65

分类号：TG580.6;TM282;TG743

资助基金：国家重点研发计划2018YFA0703400

在线出版日期：2022-06-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共12页

页码：69-80