基于背散射电子的电子束加工过程在线观测系统研制

摘要：

为了在高真空、高温、高金属蒸气的电子束加工过程中获得清晰的观测效果,采用四极板背散射电子接收传感器、高频信号放大电路、高频数据采集卡、高频偏转扫描系统等,研制了一套基于背散射电子的在线观测系统.通过试验验证,所研制系统可以有效观测100mm×100mm范围内的工件,图像分辨率为512像素×512像素,图像处理帧数可以达到6帧/s.

关键词：电子束、背散射电子、在线观测、高频偏转扫描、图像处理

所属期刊栏目：64

资助基金：广东省重点领域研发计划项目 ;国家自然科学基金

在线出版日期：2021-03-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：70-75