慢波结构微细内槽电火花加工用工具电极的制作方法及应用

摘要：

针对微波真空电子器件中的关键零部件——慢波结构微细内槽的加工难题,提出了一种电火花微细加工内槽的方法;设计制作了片状叠式组合的工具电极,通过这种电极的工艺试验,确定了损耗低、加工稳定可靠的电火花加工参数与条件,实现了对慢波结构微细内槽的加工.结果表明:采用电火花加工工艺方法和所制作工具电极是解决慢波结构微细内槽加工的有效方法之一,所加工零件满足了图纸要求.

关键词：电火花加工(EDM)、慢波结构、微细内槽、工具电极、加工工艺

所属期刊栏目：63

资助基金：北京市科技新星计划z181100006218078

在线出版日期：2020-03-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：43-47