激光回馈测量技术在航空精密制造中的应用

摘要：

航空精密制造技术的发展水平已经成为衡量国家综合实力和科技发展水平的重要标志之一.随着机械加工技术、电子电气技术、自动控制技术以及信息技术的高速发展,在此之上集成的航空精密制造技术得到了空前的飞跃,不断涌现出新技术、新工艺和新产品.与此同时,随着技术和产品的精度性能逐渐提高,对关键参数的精密测量的需求逐步增大.但是对于航空制造中的器件而言,很多测量需求无法由传统的测量方案满足.激光回馈效应是指激光器出射的激光被外部待测物体表面反射或者散射回到激光器内对激光器输出光强、偏振态和相位进行调制的一种现象.激光回馈效应进行精密测量具有高灵敏度,可实现非配合目标,如黑色、粗糙、柱面、微小型或液体目标的测量;结构紧凑,易于调节;测量结果分辨率高,可溯源到激光波长等优点.利用激光回馈效应,可以对航空制造中的零件进行精密测量,实现加工过程中的精密定位和部件实时工况的精密监测,对于提高航空制造精度,促进行业发展具有不可替代的作用.

关键词：激光回馈、航空制造、精密测量、非配合目标、原位检测

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资助基金：国家基金委优秀青年基金项目51722506;国家重大科学仪器设备开发专项2011YQ04013603;精密测试技术及仪器国家重点实验室自主研究课题

在线出版日期：2019-05-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共13页

页码：24-36