纳米小球辅助飞秒激光近场超衍射加工的研究进展

摘要：

在飞秒激光加工过程中,如何突破衍射极限一直都是一个重要问题.近年来,纳米小球辅助飞秒激光近场超衍射加工逐渐被认识并发展起来,这一加工方法可以在基底表面产生小于入射激光衍射极限尺度的纳米孔洞,并可以实现大面积加工.从金属纳米小球和介电纳米小球这两个方面入手,分别对它们辅助飞秒激光近场加工的研究进行介绍.

关键词：飞秒激光、近场加工、超衍射极限、纳米小球、近场光学

所属期刊栏目：61

资助基金：国家自然科学基金项目60615017;吉林省优秀青年人才基金项目20180520198JH;长春理工大学青年科学基金项目XQNJJ-2015-01

在线出版日期：2018-05-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：57-63