膜层厚比对CrNx/TiyCr1-yN多层膜硬度与结合力影响研究

摘要：

为研究膜层交替周期对多层膜表面硬度与耐磨性能的影响,利用金属蒸发真空弧离子源(MEVVA)和磁过滤阴极真空弧复合离子束沉积技术在AM355钢材表面制备膜层交替周期分别为5、13和26的3组CrNx/TiyCr1-yN膜层,利用场发射扫描电子显微镜(FESEM)和X射线衍射仪(XRD)对膜层形貌和相结构进行了分析,利用划痕仪、显微硬度计等对膜层硬度与结合力进行了测试.结果表明:采用该技术制备的CrNx/TiyCr1-yN多层膜结构致密,与基体结合良好;随着多层膜交替周期的增加,膜层硬度有所降低,膜层结合力则呈现先升高后缓慢降低的趋势.

关键词：多层膜交替周期、硬度、结合力

分类号：TG1;O4

在线出版日期：2017-09-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-56,67