等离子体辅助电子束物理气相沉积制备热防护涂层

摘要：

电子束物理气相沉积（Electrom Beam-Physical Vapor Deposition，EB-PVD）是制备航空发动机热防护涂层的一种重要技术手段。采用等离子体辅助技术可进一步实现EB-PVD涂层的结构改性和性能提升。对等离子体辅助EB-PVD技术的研究现状进行了简要综述，并对等离子体辅助EB-PVD制备航空发动机MCrAlY抗氧化涂层、氮化物抗冲蚀涂层及YSZ热障涂层研究进行了介绍。

关键词：电子束物理气相沉积、等离子体、防护涂层、抗氧化、抗冲蚀、热障涂层

分类号：TM9;R68

在线出版日期：2016-11-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：98-104