多孔Si3N4高温有氧环境下介电性能试验研究

摘要：

提出高温有氧环境下介电性能测试方案，并对多孔Si3N4材料进行了7~18GHz高温有氧介电性能测试，得到了相应的随温度和频率变化数据及曲线。结果表明测试方案有效可行，测试结果可见，在7~18GHz频段，测试频率对多孔Si3N4材料的介电性能测试结果无明显影响。同时，在升温过程中，介电常数逐渐增加，增幅不大；损耗角正切增加较快，这与高温电子电导损耗及杂质离子电导损耗增大有关。

关键词：多孔Si3N4、高温有氧、介电性能

分类号：TQ1;TB3

在线出版日期：2014-02-16（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：150-153