新款超紧凑光栅

摘要：

@@ TONiC是Renishaw公司推出的新款超小型非接触式光栅,在线性和旋转应用中均可达到10m/s的速度和高至5nm的分辨率.TONiC显著提高了Renishaw现有高速非接触式光栅的性能,同时又进一步改善了信号稳定性和长期可靠性,成本低,简便性无与伦比.

机标关键词：光栅、Type of、非接触式、信号稳定性、可靠性、分辨率、超小型、旋转、性能、线性、速度、公司、高速、成本

分类号：TM5;P63

在线出版日期：2009-12-14（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共1页

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