超精密加工设备的发展与展望

摘要：

@@ 当今超精密机床技术的发展趋势是:技术上不断朝着加工的极限方向发展,向更高精度、更高效率方向发展,向大型化、微型化方向发展;功能上向加工检测补偿一体化方向发展;结构上向多功能模块化方向发展;功能部件上向新原理、新方法、新材料应用方面发展,总体来讲是向极限制造技术方面发展.

机标关键词：技术的发展趋势、功能模块化、新材料应用、超精密机床、制造技术、加工检测、一体化、新原理、新方法、微型化、高精度、效率、结构、部件、补偿

分类号：F12;TP2

在线出版日期：2009-02-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共7页

页码：40-46