10.3969/j.issn.1671-833X.2008.10.016
精密微动工作台
通过有限元法的应用,建立了微动工作台静、动特性的有限元分析模型,分析了柔性铰链在几个主要影响因素下的位移、应力分布以及固有频率和振型.应用正交试验设计,全面分析结构主要参数对微动工作台的静、动特性的影响.用逐步回归分析方法对数值计算结果进行回归,获得了微动工作台的性能及其结构尺寸的回归方程,并研制样机对其进行了验证.
微动工作台、有限元分析、逐步回归分析
TP3;TP2
2008-07-30(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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