10.3969/j.issn.1671-833X.2002.06.011
微米与纳米级加工技术
论述了微细刻蚀、LIGA、微细特种加工、纳米切削和基于扫描探针技术等微米、纳米级加工技术的原理、特点和发展.
微细加工、纳米加工、精密
TG66
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
22-25,39
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10.3969/j.issn.1671-833X.2002.06.011
微细加工、纳米加工、精密
TG66
2004-01-08(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
共5页
22-25,39
国家重点研发计划“现代服务业共性关键技术研发及应用示范”重点专项“4.8专业内容知识聚合服务技术研发与创新服务示范”
国家重点研发计划资助 课题编号:2019YFB1406304
National Key R&D Program of China Grant No. 2019YFB1406304
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