飞机座舱玻璃铌掺杂ITO镀膜工艺参数选择

摘要：

对飞机座舱玻璃镀膜能够有效提高飞机的头向隐身性并能优化座舱光电性能参数.针对座舱玻璃铌掺杂ITO镀膜,重点研究参与溅射的靶材数目、氧气流量等工艺参数对其性能参数的影响规律.结果表明:参与溅射的靶材数目增加,方块电阻快速降低,之后下降斜率变小,趋于定值;透光率振荡变化,且当方块电阻大小稳定后逐渐变小.氧气流量增加时,方块电阻先减小后增加,当氧气流量大于6 sccm时,方块电阻迅速增加,透光率振荡后降低.不同基底的铌掺杂ITO薄膜,其方块电阻和透光率变化不大,仅影响真空度等其他工艺过程.各工艺参数对薄膜颜色有一定的制约作用.

关键词：溅射、铌掺杂ITO、座舱、透光率、隐身

所属期刊栏目：8

分类号：V218(基础理论及试验)

资助基金：国家重点基础研究计划973计划61320河南省高等学校重点科研项目计划17B590002河南省科技攻关计划172102210530

在线出版日期：2017-04-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：78-83