隔热背腔式柔性热膜探头的设计及其微加工

摘要：

为了进一步提高器件性能,设计一种新型隔热背腔式柔性热膜传感器探头结构.借助流体传热耦合仿真和动态响应分析等,确定背腔结构参数；研发针对隔热背腔式柔性热膜探头的双面图形化微加工工艺,获得新型传感器件.对静/动态特性进行对比测试,结果表明:在相同的输入被测量情况下,新结构器件的输出信号量值提高了20％,时间常数由400 μs减小到220μs,器件的灵敏度和动态响应性能都获得了有效提升.

关键词：柔性热膜、隔热背腔、仿真、微加工

所属期刊栏目：4

分类号：TP212;V261(自动化技术及设备)

资助基金：国家自然科学基金50775188

在线出版日期：2013-11-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：327-332