基于双层薄膜热电偶的热障涂层隔温温度精确测量

摘要：

为了解决热障涂层隔温温度测量方法缺乏规范性及精确测量体系欠缺的问题,提出在热障涂层上、下两侧制作薄膜型热电偶测量热障涂层隔温温度的试验方案,利用MEMS工艺在热障涂层两侧实现Pt/PtRh薄膜型(＜1um厚)热电偶微制造工艺,进行热障涂层在高温热流动态环境下的隔温效果初步测定试验,并提出1种热障涂层隔温效果的标准化测量体系与测量规范.结果 表明:该Pt/PtRh薄膜型传感器可以测量1200 ℃左右的高温.

关键词：热障涂层、温度测量、薄膜传感器、微制造集成技术、隔温温度、航空发动机

所属期刊栏目：46

分类号：V239(航空发动机（推进系统）)

在线出版日期：2020-12-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：49-54