热处理对Pt-PtRh13薄膜热电偶绝缘层性能的影响及机理分析

摘要：

为了测量航空发动机高温部件表面温度,利用离子束溅射镀膜技术制备了拥有多层薄膜结构的Pt-PtRh13薄膜热电偶,包括Ni基合金基底、NiCrAlY黏结层、Al2O3过渡层、Al2O3绝缘层、Pt/PtRh13薄膜热电偶和Al2O3保护层.研究了热处理对Pt-PtRh13薄膜热电偶绝缘层性能的影响,并利用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射分析(XRD)等手段对薄膜热电偶绝缘层性能下降的机理进行了分析.研究结果表明:利用Al2O3绝缘薄膜开发的Pt-PtRh13薄膜热电偶只用于900 ℃以下测温,在900 ℃以上长时间应用可能会出现测温不稳定问题,高温诱发Al2O3绝缘层发生晶型转变是主要原因.

关键词：薄膜热电偶、Pt-PtRh13、离子束溅射、热处理、温度稳定性、航空发动机

所属期刊栏目：41

分类号：V250.3(航空用材料)

在线出版日期：2015-07-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：84-87