EB-PVD工艺制备Ti/Ti-Al超薄多层复合材料的微观结构与性能研究

摘要：

利用大功率电子束物理气相沉积(EB-PVD)技术制备了Ti和Ti-48at%Al交替蒸发沉积形成的金属/金属间化合物型多层材料薄箔.研究了靶基距、微观结构参数及试样在制备材料的选取位置对其性能的影响,考察了Ti/Ti-Al微叠层材料在不同温度下的拉伸性能,结果表明材料的室温脆性得到了明显改善,高温下由于金属间化合物层的反常强化作用,使材料在500～800 ℃之间的性能较为理想.

关键词：多层材料、微观结构、力学性能、金属间化合物、电子束物理气相沉积

所属期刊栏目：28

分类号：TB331(工程材料学)

资助基金：教育部跨世纪优秀人才培养计划NCET2004

在线出版日期：2008-04-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：5-8