小像元InSb红外焦平面器件光电性能仿真

摘要：

小像元是InSb红外焦平面器件制备的发展方向之一,但其会对器件的光电流响应和串音产生很大影响.因此使用Sentaurus TCAD软件建立了小像元InSb红外焦平面阵列器件的台面结器件模型、平面结器件模型和外延结构器件模型,采用背照射的3个像素单元的InSb阵列器件仿真了3种器件结构的光电流响应和串音.结果表明,台面结器件和平面结器件可以通过减小器件厚度和增加结深的方法来增加光电流响应和减少串音;外延结构器件可以通过增加吸收层厚度和选择合适的掺杂浓度来改善光电流响应和串音.综合考虑工艺难度影响,对小像元InSb红外焦平面阵列器件,建议采用深离子注入的平面结结构和采用分子束外延制备的厚度和掺杂浓度可控的外延结构.

关键词：InSb、小像元、红外探测器、电流响应率、串音、Sentaurus TCAD

所属期刊栏目：29

分类号：TJ760.1;TN215(火箭、导弹)

资助基金：航空科学基金201924012003

在线出版日期：2022-08-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：61-65