基于FR-4的电磁驱动微扫描镜研究

摘要：

设计一种基于FR-4材料的电磁驱动微扫描镜,进行了有限元仿真,并利用标准PCB技术制作了器件.测试结果表明,器件具有约0.015 (°)/mA的静态转角,在50～500 Hz驱动频率下光学转角始终大于±2°,在360 Hz处达到最大±34.18°,同时反馈电压与扫描角度具有良好的线性关系.器件通过了高低温及寿命试验,其可靠性得到了验证.

关键词：FR-4、微扫描镜、电磁驱动、有限元仿真、性能测试

分类号：TH74(仪器、仪表)

资助基金：中航产学研创新基金CXY2012XG12

在线出版日期：2017-09-30（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：75-79