基于 MEMS VOA 阵列的红外场景生成器

摘要：

针对动态半实物仿真系统的需求，提出了一种新颖的基于微机电系统（ MEMS ）技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器（ VOA ）阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构，提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案，为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。

关键词：微机电系统、可变光衰减器、红外场景生成器、阵列、洛伦兹力

分类号：TN219;O439(光电子技术、激光技术)

资助基金：航空科学基金20130136001

在线出版日期：2016-06-07（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：38-41