10.19297/j.cnki.41-1228/tj.2016.02.007
基于 MEMS VOA 阵列的红外场景生成器
针对动态半实物仿真系统的需求,提出了一种新颖的基于微机电系统( MEMS )技术的红外场景生成器。研究了可变光衰减器( VOA )阵列组成红外场景生成器的工作原理和器件结构,提出了新型串联双向折叠梁结构和阵列布局方案,为实现大规模阵列的红外场景生成器奠定基础。
微机电系统、可变光衰减器、红外场景生成器、阵列、洛伦兹力
TN219;O439(光电子技术、激光技术)
航空科学基金20130136001
2016-06-07(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
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