MEMS 航空微时代

摘要：

MEMS（Micro Electron Mechanic Systems）技术是从专用集成电路（ASIC）技术发展过来的，已经在电子产品、汽车工业、机械、化工及医药等各领域得到广泛的应用。近年来， MEMS器件在航空领域的应用越来越受到各国重视。本文首先介绍了MEMS加速度计、 MEMS陀螺仪、MEMS-IMU惯性导航组合系统等目前在航空领域有一定应用前景的MEMS传感器，对这些传感器在国外的应用研究进行了汇总，最后，介绍国内已有初步进展的MEMS传感器设计应用，并指出我国的航空微时代的研究方向。

关键词：MEMS传感器、MEMS加速度计、陀螺仪、MEMS-IMU

分类号：TJ761.1(火箭、导弹)

在线出版日期：2013-11-26（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：18-21,51