Al-glass-Al阳极键合界面及力学性能的分析
利用两步法阳极键合技术成功实现了Al-glass-Al的连接,利用扫描电镜(SEM)观察Al-glass界面形貌,利用辉光放电发射光谱仪(GD-OES)分析界面元素(K,Na,O,Al)分布规律,利用原子力显微镜(AFM)分析键合前后玻璃的表面形貌,采用万能材料试验机测试了不同工艺参数下试样的力学性能.结果表明,第二次键合界面电流值明显高于第一次键合界面电流值;Al-glass-Al界面结合良好,玻璃两侧界面无明显差异;Al3+有向Na+耗尽层中扩散的趋势,先形成的耗尽层中Na+浓度明显高于后形成的耗尽层;键合过程中,Na+在玻璃表面析出,玻璃表面Ra升高,玻璃表面质量下降是造成玻璃试样沿第二次键合面Al(2)-glass界面断裂的主要原因.
阳极键合、铝—玻璃—铝、辉光放电发射光谱分析、微机电系统
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TG456.9(焊接、金属切割及金属粘接)
国家自然科学基金青年基金51405328
2018-11-15（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）
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