铝硅合金互连线电迁移失效试验

摘要：

随着微电子技术的发展,作为超大规模集成电路互连线的金属薄膜的截面积越来越小,其承受的电流密度急剧增加,电迁移引起的互连失效变得尤为突出.针对集成电路中金属互连线的电迁移现象,以Black方程为基础,对其进行了修正.并以铝硅合金互连线为研究对象,对其电迁移过程进行了详细的加速寿命试验研究,获取了修正后的Black方程中的相关参数,分析了不同环境温度、不同电流密度、不同初始电阻等因素对铝互连线电迁移的影响规律.结果表明,铝硅合金互连线的电迁移寿命与上述参数均成反比关系.

关键词：电迁移、加速寿命试验、互连线

所属期刊栏目：36

分类号：TG457(焊接、金属切割及金属粘接)

资助基金：国家自然科学基金资助项目51305268;航空科学基金资助项目20110247001

在线出版日期：2015-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页码：21-24