CVD-PyC界面层和SiC涂层厚度数学计算模型的建立与验证

摘要：

建立了合适的化学气相沉积碳界面层厚度数学计算模型和SiC涂层厚度数学计算模型,并通过工艺实验对该模型进行了验证.结合实验结果分析,发现通过该模型计算出的化学气相沉积碳界面层厚度和SiC涂层厚度与SEM照片分析结果基本接近,因此可利用上述模型估算出C/SiC复合材料产品的化学气相沉积碳界面层厚度和SiC涂层厚度,快速评估C/SiC复合材料产品化学气相沉积质量能否满足实际工况使用要求.

关键词：C/SiC复合材料、化学气相沉积热解炭界面层、化学气相沉积SiC涂层、数学模型

所属期刊栏目：40

分类号：V258+.-34(航空用材料)

在线出版日期：2015-03-12（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共6页

页码：69-74