光刻技术在金属板片刻蚀上的应用

摘要：

介绍了应用双面自对准光刻技术刻蚀金属板片的工艺原理、方法、工艺参数的选取原则以及双面自对准光刻模具设计准则,该项技术已成功应用于液体火箭发动机层板喷注器和膜片阀的研制和生产之中.

关键词：光刻技术、层板喷注器、膜片阀

所属期刊栏目：36

分类号：V434(推进系统（发动机、推进器）)

在线出版日期：2010-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共4页

页码：54-57