基于MEMS技术的微型阀研究

摘要：

根据微机电系统(MEMS)技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势,在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上,通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟,论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案,确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标;通过结构设计和MEMS工艺攻关,完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造,并进行了初步的原理试验验证和性能检测.结果表明,基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行,方案合理;通过进一步的结构优化,解决多层键合和系统封装工艺,可以获得高性能的微型阀,为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础.

关键词：微机电系统、微推进系统、静电微型阀、压电微型阀

所属期刊栏目：36

分类号：V432(推进系统（发动机、推进器）)

资助基金：国际科技合作项目20070806

在线出版日期：2010-05-25（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）

页数：共5页

页码：8-12